Описание

Предназначено для получения изображения микрогеометрии поверхности объектов интерференционных изображений в белом или монохроматическом свете, наблюдения микрогеометрических поверхностей объектов, цифровой регистрации и анализа строения границ интерференционных изображений.

Основные характеристики:
  • диапазон измерения параметров шереховатости поверхности Rmax, RZ и толщины пленок: от 0,1 до 0,8 мкм
  • пределы допускаемой систематической погрешности при измерении Rmax, RZ: 22 %
  • увеличение микроинтерферометра при наблюдении с окулярным микрометром: 500
  • линейное поле микроинтерферометра в пространстве предмета при наблюдении с окулярным микрометром: 0,30 мм
  • диапазон перемещения предметного столика в горизонтальной плоскости в продольном и поперечном направлениях: от 0 до 10 мм
  • длина волны максимума пропускания интерференционных светофильтров:
    • зеленый - 533,7 нм
    • желтый - 595,0 нм
  • коэффициент пропускания интерференционных светофильтров:
    • зеленый - 38 %
    • желтый - 44 %
  • полуширина интерференционных светофильтров
    • зеленый - 8,5 нм
    • желтый -9 нм